Schichtanalytik, Performance von Beschichtungen

© Fraunhofer IWM

Das Einsatzverhalten von Schichten wird wesentlich von den Abscheidebedingungen bei der Schichtaufbringung und den daraus resultierenden Materialeigenschaften wie chemische Zusammensetzung, Mikrostruktur und Spannungszustand bestimmt. Zur Charakterisierung der tiefenabhängigen Materialzusammensetzung wird die optische Glimmentladungsspektroskopie eingesetzt. Temperaturabhängige Schichteigenspannungszustände werden über einen beheizbaren Interferometeraufbau bestimmt. Die Analysen tragen dazu bei, Versagensmechanismen aufzuklären und Beschichtungsprozesse zu optimieren.

Publikationen

 

  • Matthey, B.; Kunze, S.; Hörner, M.; Blug, B., SiC-bonded diamond materials produced by pressureless silicon infiltration, Journal of Materials Research 32/17 (2017) 3362-3371 Link

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