Ausstattung: Grenzflächen- und Oberflächentechnologie

Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM

Anlagen für Beschichtungs- und Oberflächentechnologie

  • Plasma-CVD-Beschichtungsanlagen (CCP/ICP)
  • Sputteranlagen
  • DC-Trioden-Beschichtungsanlage
  • DC-Puls-Beschichtungsanlage
  • Hochfrequenz-Magnetron-Bias-Beschichtungsanlage
  • Ionenstrahlbeschichtungsanlage
  • Ionenstrahlunterstützte Elektronenstrahlverdampfungsanlage
  • PVD-Beschichtungsanlagen
  • Mehrquellenbeschichtungsanlage
  • Bedampfungs-/Sputteranlagen
  • Plasmaätzanlage
  • Reinraum der Klasse 1000
  • Nasschemische Beschichtungsanlagen (Spin-Coating, Rakelbeschichtung)
  • Ionenätzanlage zur Probenpräparation und Oberflächenbearbeitung

Geräte für die Oberflächenanalytik

  • Lichtmikroskope
  • Rasterkraftmikroskope (AFM)
  • Konfokalmikroskop
  • Laser-Scanning-Mikroskop
  • Konfokales Raman Mikroskop, Mikro-Raman-Spektrometer
  • Analytisches Rasterelektronenmikroskop mit EDX/EBSD
  • Digitalmikroskop
  • Fokussierende Ionenstrahlanlagen
  • Time-of-Flight-Sekundärionenmassenspektrometer (TOF-SIMS)
  • UV/VIS-Spektrometer
  • Infrarot-Spektrometer
  • Glimmentladungsspektroskop (GDOES)
  • Röntgenografische und interferometrische Eigenspannungsmessung
  • Weißlichtinterferometer
  • Kontaktwinkelmessung

Einrichtungen für Oberflächen- und Härteprüfung

  • Mikro- und Makrohärteprüfer (vollautomatisch und manuell)
  • Nanoindenter mit Temperierung
  • Registrierender Eindruckversuch bis 600 °C
  • Rücksprunghärte Equotip
  • Rauhigkeits-Messeinrichtung
  • Profilometer

Verfahren für Verschleißuntersuchungen und tribologische Charakterisierung

  • Stift-Scheibe-Prüfanlagen
  • Wälz- und Gleitverschleißprüfstände
  • Kugellagerprüfstand
  • Hochgeschwindigkeits-Gleitringdichtungsprüfstand
  • Mikrotribometer
  • Verschleißmessanlage mit Radionuklidtechnik für kleinste Verschleißraten (1-5 nm/h)
  • Reibungs- und Verschleißmesseinrichtungen
  • Scanning-Scratch-Test
  • Rauhheits-Messeinrichtung

Anlagen zur Formgebung und zum Trennen von Glas

  • Blankpressanlage für präzisionsoptische Bauteile aus anorganischem Glas
  • Pressanlagen für das Heißprägen
  • Laserschneidanlage zum thermischen Trennen

Spezielle Verfahren

  • Präzisionsdreh- und -fräsmaschinen
  • Kugelstrahlanlagen zur Verfestigung und Strukturierung von Oberflächen
  • Elektrostatische Spinneinrichtung