Schichtanalytik, Performance von Beschichtungen

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Das Einsatzverhalten von Schichten wird wesentlich von den Abscheidebedingungen bei der Schichtaufbringung und den daraus resultierenden Materialeigenschaften wie chemische Zusammensetzung, Mikrostruktur und Spannungszustand bestimmt. Zur Charakterisierung der tiefenabhängigen Materialzusammensetzung wird die optische Glimmentladungsspektroskopie eingesetzt. Temperaturabhängige Schichteigenspannungszustände werden über einen beheizbaren Interferometeraufbau bestimmt. Die Analysen tragen dazu bei, Versagensmechanismen aufzuklären und Beschichtungsprozesse zu optimieren.