Trennen von Silizium

© Foto Fraunhofer IWM

Beim Drahtsägen von Siliziummaterial für Solarzellen-Wafer geht ein beträchtlicher Teil des mit hohem Energieeinsatz gereinigten und kristallisierten Siliziums in Form von nicht recycelbarem Siliziumstaub verloren. Ein zentrales Forschungsthema ist daher die Reduzierung der Spaltbreiten beim Sägen und die Erforschung der Grundlagen des Materialabtrags im Einzelsägespalt-Prozess. Die Arbeiten beinhalten experimentelle und numerische Untersuchungen zu neuen Draht-, Abrasiv- und Trägermaterialien sowie zu Abtragsmechanismen und Sägeparametern. Untersucht werden Abrieb von Drähten und mechanische Eigenschaften der erzeugten Oberflächen, um aussichtsreiche Draht-Slurrysysteme für den industriellen 100 µm-Sägeprozess zu definieren.